2009-10-13
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안대명(ansolu)
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포토레지스트 상에 Developer(TMAH 2% 수준)를 Drop 하였을때 Developer 방울의 가장자리나 방울의 크기가 작을 때 포토레지스트의 두께가 더 크게 감소하는 현상이 있는데, 이를 어떠한 관점에서 분석해야될지 모르겠습니다. 관련 현상이나 이론을 알고 싶습니다.
수고하세요
- 방울
- 농도
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2009-10-13- 3
TMAH는 OH-(Hydroxyl)기를 가지고 있는 강알카리성으로써 Acidic photoresist에 사용 되는 전해질(electrolyte)인데,어떤 용액이 고체의 표면과 접촉하게 되면 전기2중층 [Helmholtz에 의하여 제시된 Electric double layer(EDL)]이 형성됩니다. 전기2중층이 형성되면 표면전하(Electric surface charge)가 형성되는데,이러한 표면전하에 의하여 Elctrokinetic potential이 형성됩니다.이러한 potential은 고체의 표면 에서 거리가 멀어 질수록 지수함수적으로 감소합니다.다시말하면 TMAH의 방울의 입자가 크면 그 중심부에서의 potential은 감소하지만 가장자리는 접촉 두께가 아주 얇기 때문에 전기적인 potential이 커서 반응이 활발하게 됩니다. 즉 Electrokinetic potential이 크다는 것입니다.그리고 방울이 미세하면 미세할수록 고체 표면에 미치는 potential이 크기 때문에 TMAH를 처리하는 효과가 커지게 되는 것입니다. -
답변
이상후님의 답변
2010-01-25- 0
첨부파일
>포토레지스트 상에 Developer(TMAH 2% 수준)를 Drop 하였을때 Developer 방울의 가장자리나 방울의 크기가 작을 때 포토레지스트의 두께가 더 크게 감소하는 현상이 있는데, 이를 어떠한 관점에서 분석해야될지 모르겠습니다. 관련 현상이나 이론을 알고 싶습니다. > >수고하세요 첨부 파일 참고하세요. 계면현상 관점에서 설명이 가능할 거 같습니다.
늦었지만 답변 감사드립니다.
상기 답변 관련해서 관련 내용을 검색해보니까... 방울 크기 혹은 면적에 의한 자료는 없네요...
관련애서 추천 혹은 참고가 될 만한 사이트도 알 수 있을까요?