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ZrO2 박막의 RBS 분석

ZrO2 박막의 (28nm) 밀도를 분석 하기 위해서 RBS 분석을 실시 하였는데 이와 같이 나왔는데요 Thick 1.87x1017atoms/cm2 이와 같은것을 g/cm3 으로 (박막 밀도) 로 뱐환 하고 싶은데 어떻게 해야 하나요??
  • RBS
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답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    >ZrO2 박막의 (28nm) 밀도를 분석 하기 위해서 >RBS 분석을 실시 하였는데 >이와 같이 나왔는데요 >Thick 1.87x1017atoms/cm2 > >이와 같은것을 g/cm3 으로 (박막 밀도) >로 뱐환 하고 싶은데 >어떻게 해야 하나요?? 첨부 자료가 참고가 되기를 바랍니다.
    >ZrO2 박막의 (28nm) 밀도를 분석 하기 위해서 >RBS 분석을 실시 하였는데 >이와 같이 나왔는데요 >Thick 1.87x1017atoms/cm2 > >이와 같은것을 g/cm3 으로 (박막 밀도) >로 뱐환 하고 싶은데 >어떻게 해야 하나요?? 첨부 자료가 참고가 되기를 바랍니다.
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