2009-10-27
org.kosen.entty.User@72a15ade
안대명(ansolu)
- 3
전에도 같은 질문을 올렸었습니다.
"포토레지스트 상에 Developer(TMAH 2% 수준)를 Drop 하였을때 Developer 방울의 가장자리나 방울의 크기가 작을 때 포토레지스트의 두께가 더 크게 감소하는 현상이 있는데, 이를 어떠한 관점에서 분석해야될지 모르겠습니다. 관련 현상이나 이론을 알고 싶습니다. "
위의 질문에 전기이중층 개념의 답변을 받았었는데... 오히려 이 개념 보다는 계면활성제에서 주로 적용되는 흡착이라는 이론이 이것과 더 유사할거 같다고 보입니다. 이게 맞는 생각인지 잘 모르겠습니다.
- Developer 농도
- 포토레지스트
- 흡착
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 3
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답변
안길홍님의 답변
2009-10-28- 2
첨부 자료를 참고바랍니다. -
답변
안길홍님의 답변
2009-10-28- 0
특별히 참고할 site는 없고, 참고 자료를 올리겠습니다.
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답변
이상후님의 답변
2010-01-25- 0
첨부파일
>전에도 같은 질문을 올렸었습니다. > >"포토레지스트 상에 Developer(TMAH 2% 수준)를 Drop 하였을때 Developer 방울의 가장자리나 방울의 크기가 작을 때 포토레지스트의 두께가 더 크게 감소하는 현상이 있는데, 이를 어떠한 관점에서 분석해야될지 모르겠습니다. 관련 현상이나 이론을 알고 싶습니다. " > >위의 질문에 전기이중층 개념의 답변을 받았었는데... 오히려 이 개념 보다는 계면활성제에서 주로 적용되는 흡착이라는 이론이 이것과 더 유사할거 같다고 보입니다. 이게 맞는 생각인지 잘 모르겠습니다. > 계면현상의 관점에서 설명할 수 있을수도 있겠네요.. 표면과 관련하여 일어나는 특이적인 물리화학적 성질들을 파악하여, 계면활성제와 표면적의 증가가 약제의 약효발현에 미치는 제반 영향과 관련이 있을거 같습니다. 관련 자료 첨부합니다.
답변 정말 감사 드립니다. 의문이 많이 풀렸습니다.
관련 내용과 관련하여 참고할만한 site를 알고 싶은데요. 혹시나 추천할 만한 데가 있는지요?