2009-11-04
org.kosen.entty.User@37d8ecae
이윤식(darksow)
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안녕하세요
제가 이쪽에 관한 전반적인 모든 자료를 구하고 싶은데요.
구하기가 엄청 힘드네요. 그래서 여기에 도움을 요청합니다.
반도체에 증착할때 쓰이는 전구체<에 관한 전반적인 합성방법과 특성과 전반적인 자료와 증착방법종류에 대한 자료나 파일.책.보고서. 모두 구하고 있으니 고수님들의 조언부탁드립니다.
혹시 이쪽 계통에 전문가나 아시는분은..개인적으로 물어보고 하고 싶은데요..
- 반도체
- 전구체
- 합성
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
김도형님의 답변
2009-11-09- 0
전구체는 목적 합성체에 따라 크게 달라질 수 밖에 없습니다. 또한 같은 물질을 증착하여도 증착 방법(CVD, ALD 등)에 따라서도 달라져 무엇이라 딱히 말씀드리기가 어려울 것 같습니다. 우선 증착하고자 하는 막질을 확인하신 다음 관련 물질의 합성에 관한 논문을 찾아보시는 것이 제일 빠를 것 같습니다. >안녕하세요 > >제가 이쪽에 관한 전반적인 모든 자료를 구하고 싶은데요. > >구하기가 엄청 힘드네요. 그래서 여기에 도움을 요청합니다. > >반도체에 증착할때 쓰이는 전구체<에 관한 전반적인 합성방법과 특성과 전반적인 자료와 증착방법종류에 대한 자료나 파일.책.보고서. 모두 구하고 있으니 고수님들의 조언부탁드립니다. >혹시 이쪽 계통에 전문가나 아시는분은..개인적으로 물어보고 하고 싶은데요..
cvd.ald등 상관없습니다 그냥 모든 논문이든 전부다 자료를 구하고 있습니다. 도와주세요..