2009-11-19
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김동현(cracker)
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co-sputter 장비를 보면, 여러개의 gun들이 stage를 향하고 있는데요.
저희 연구실 장비는 gun이 정확하게 stage의 중심을 향하고 있지 않습니다.
제 생각에는 gun의 각도가 stage의 중심을 향해야 할것 같은데...
각각의 gun의 연장선이 stage 표면의 중심에서 만나도록 말이죠.
target 에서 떨어져 나온 물질이 어느 방향으로 떨어지는가 하는것도 궁금합니다.
(gun의 각도 or 중력방향)
제대로 만들어진 장비가 아니라서 개조 중인데, 이 부분을 모르겠습니다.
추가로..
RF magnetron co-sputter 에 관해 공부할 수 있는 책이나 자료를 추천해 주시면 감사하겠습니다.
* 이해를 돕기위해 PPT로 만든 그림을 첨부 합니다.
(첨부 파일을 잘못 올렸네요. 다시 첨부합니다. 11월23일)
- sputter
- deposit
- plasma
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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