2009-11-25
org.kosen.entty.User@5ed59d0a
안태영(smart3019)
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안녕하세요
다름이 아니라 TMAH 와 KOH에 etching 이 되지 않고
저항이 높은 Metal 물질을 사용해 보신분이 계시는지요?
그리고 TMAH 나 KOH 용액을 사용하여 Si 의 anisotropic etching 을 해보신 분
원액을 사용하셨나요 ? 아니면 희석하여 사용하셨다면,
몇 %정도로 희석하셨는지 무리한 부탁이겠지만 etching rate도 알고 계시면
알려주셨으면 감사하겠습니다.
읽어주셔서 감사합니다^^
- TMAH
- KOH
- Metal
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
최성호님의 답변
2010-01-04- 0
KOH를 이용한 이방성 에칭은 태양전지 제작시 사용되는 기술입니다. 통상적으로 희석해서 쓰구요. 농도에 따라 에칭 속도나, 이방성 구조의 차이가 나므로 관련 태양전지 관련 논문이나 책을 찾아 보시면 쉽게 찾을 수 있습니다. 내식성이 있는 고저항 금속에 대한 용도는 잘 모르겠지만 장시간 사용이 아니라면 Stainless steel 계열이 잘 견딥니다. >안녕하세요 > >다름이 아니라 TMAH 와 KOH에 etching 이 되지 않고 > >저항이 높은 Metal 물질을 사용해 보신분이 계시는지요? > >그리고 TMAH 나 KOH 용액을 사용하여 Si 의 anisotropic etching 을 해보신 분 > >원액을 사용하셨나요 ? 아니면 희석하여 사용하셨다면, > >몇 %정도로 희석하셨는지 무리한 부탁이겠지만 etching rate도 알고 계시면 > >알려주셨으면 감사하겠습니다. > >읽어주셔서 감사합니다^^