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지식나눔

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Calcination을 시키지 않고 TEOS를 SiO2로 바꾸는 방법좀 알려주세요.

2010-01-15 org.kosen.entty.User@456fafcf 맹일호(st9013)
  • 2
TEOS를 furnace에서 소성을 시키면 SiO2가 되는 것은 알고 있는데요. 소성을 시키지 않고 TEOS를 SiO2가 되게 하는 방법은 무엇이 있나요?
  • TEOS
  • SiO2
  • Calcination
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답변 2
  • 답변

    이상후님의 답변

    2010-01-15
    • 2

    첨부파일

    >TEOS를 furnace에서 소성을 시키면 SiO2가 되는 것은 알고 있는데요. > >소성을 시키지 않고 TEOS를 SiO2가 되게 하는 방법은 무엇이 있나요? 실온에서 촉매로서 NH3를 이용하여 TEOS와 물을 사용하여 SiO2를 atomic layer deposition하는 방법이 있습니다. 첨부 자료 참고하세요.
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    >TEOS를 furnace에서 소성을 시키면 SiO2가 되는 것은 알고 있는데요. > >소성을 시키지 않고 TEOS를 SiO2가 되게 하는 방법은 무엇이 있나요? 실온에서 촉매로서 NH3를 이용하여 TEOS와 물을 사용하여 SiO2를 atomic layer deposition하는 방법이 있습니다. 첨부 자료 참고하세요.
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2010-01-15
    • 0

    첨부파일

    TEOS를 가수분해/축합반응을 거쳐 SiO2로 만들 수 있으나,이를 순수한 SiO2를 얻기위하여서는 여과후 가열하여 주는 것이 좋습니다.
    답변수정
    TEOS를 가수분해/축합반응을 거쳐 SiO2로 만들 수 있으나,이를 순수한 SiO2를 얻기위하여서는 여과후 가열하여 주는 것이 좋습니다.
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