2010-01-29
org.kosen.entty.User@46650838
박희우(phw10111)
- 2
다시 질문하겠습니다.
cascade 원리가 무엇인지 알고 싶습니다.
스퍼터링에서
target상에서 봤을때 때리면 묶여있던 원자들 중 앞에 있는게
에너지를 전부 받는것이 아니라 뒤에있는것도 받고 한다고 들은것같은데,,,
정확하게 cascade원리가 무엇인지 모르겠습니다.
가르쳐주시면 감사하겠습니다.
- cascade원리
- 재료공학
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 2
-
답변
이상후님의 답변
2010-01-29- 0
>다시 질문하겠습니다. > >cascade 원리가 무엇인지 알고 싶습니다. > >스퍼터링에서 >target상에서 봤을때 때리면 묶여있던 원자들 중 앞에 있는게 >에너지를 전부 받는것이 아니라 뒤에있는것도 받고 한다고 들은것같은데,,, >정확하게 cascade원리가 무엇인지 모르겠습니다. >가르쳐주시면 감사하겠습니다. Cascade sputtering theory를 자세히 설명하는 자료를 첨부해 드립니다. -
답변
안길홍님의 답변
2010-01-29- 0
plasma상태내에 대상물질을 놓고 sputtering하였을 때,전원에 의한 전극에서 나오는 전자의 방출에 의하여서만 작용이 모두 일어나는 것이 아니고, 대상물에 전자가 충돌하게 되면 대상물에서는 자신이 가지고 있는 전자를 방출하게 되는 현상이 일어나는데 이를 2차 전자 방출이라고 합니다( γ -action이라고 함).또한 plasma내에서는 높은 온도로 인하여 대상물에서도 광자가 방출하게 됩니다. 이러한 plasma내에서도 반드시 에너지 보존법칙과 운동량보존의 법칙이 만족하여야 되는데, plasma의 에너지와 운동량이 모두 대상물에 전달되어서 양쪽의 에너지가 같아야 되는데 위의 2차전자 방출,이온의 방출 및 광자의 방출로 인하여 균형이 깨어지게 되는 현상이 일어납니다. 그러면 불균형을 이루는 잉여에너지는 力場(field)에서 받게되는 현상이 일어납니다.이것은 대상물의 원자 및 ion의 장에서 자유전자가 방출하는 제동방사의 역과정이기 때문에 이를 역제동방사라고 합니다.또한 이러한 에너지가 역제동에 의하여 흡수되면 다시 충돌여기를 하게 되고, 그 순간에 다시 역제동방사가 발생하고 하는 과정이 연속적으로 계속하여 진행하게 됩니다.이러한 과정은 sputtering하는 전원의 주파수가 높으면 높을 수록 주기가 짧아지게 되는 것입니다.특히 빛의 속도에 가까운 laser광에 의한 주파수에 가깝든지 sputtering하는 에너지가 높든지 하면 이러한 현상이 심하여 집니다.sputtering되는 대상물에서 볼때 전면에 에너지를 받지만 에너지는 대상물의 전체로 퍼지게 되며 이러한 역제동 방사현상이 뒷면에서도 일어나게 되는 것입니다.이를 sputtering시의 cascade현상이라고 합니다.