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지식나눔

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spray 방식의 금속 나노코팅

2010-02-01 org.kosen.entty.User@16b8f347 이철환(dumtan)
  • 1
Spray방식을 이용하여 Cu, Al을 PET필름 또는 Glass 위에 증착하려고 합니다. 두께는 300~400nm정도로 올리고 싶은데요. 적용가능한 스프레이 기술은 어떤 것이 있을 까요? 그리고 재료는 어떤것을 쓰면 좋을지 고수님들의 조언을 부탁드립니다. 반도체나 디스플레이에 적용가능한 스프레이 방식에 대한 자료가 있으면 추천 부탁드립니다.
  • spray
  • 금속코팅
  • 필름
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답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2010-02-02
    • 3

    첨부파일

    Pet를 포함한 플라스틱 위에 nanoparticle 금속을 coating할려면 low temp.plasma assisted CVD 방법을 적용합니다.(유리에도 동일하게 적용가능합니다.) 이에 대하여 특허도 많이 있으며, 상용으로 적용하고 있는 것으로 알고 있습니다. Cu,Al은 염화물을 사용합니다.이를 수소가스와 저온 plasma를 적용하여 Cl은 HCl로 떨어져 나오도록하고, nano metal이 증착되도록 하는 방법입니다. 첨부 자료를 참고바랍니다.
    답변수정
    Pet를 포함한 플라스틱 위에 nanoparticle 금속을 coating할려면 low temp.plasma assisted CVD 방법을 적용합니다.(유리에도 동일하게 적용가능합니다.) 이에 대하여 특허도 많이 있으며, 상용으로 적용하고 있는 것으로 알고 있습니다. Cu,Al은 염화물을 사용합니다.이를 수소가스와 저온 plasma를 적용하여 Cl은 HCl로 떨어져 나오도록하고, nano metal이 증착되도록 하는 방법입니다. 첨부 자료를 참고바랍니다.
    이철환(dumtan) 2010-06-07

    좋은 자료 주셔서 감사합니다.

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