2010-02-04
org.kosen.entty.User@7d9ce7e9
박희우(phw10111)
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아래 첨부한자료 7페이지 에서나오는 이야기인데
http://pds17.egloos.com/pds/200911/23/46/ITO.pdf
SnO2 박막은 결정화 온도가 다른 TCO박막에 비하여 높기
때문에 유기 EL등에 사용되는 플라스틱 기판에 증착하는것은
거의 불가능하다. 따라서 이박막은 주로 오븐용유리, 복사기
등의 정전 방지막에 더 적합한 것으로 알려져있다.
질문1: 저는 결정화온도라는것이 결정상태가 아닌 액체나
비결정상태가 고체가 결정을 형성하는 온도라고 알고 있습니다.
그렇다면 스퍼터링으로 증착을 할때 타겟에서 나온 원자들이
기판상에서 서로 녹아붙어서 결정을 이룰수있는 chamber온도를 말하는건지
아니면 식으면서 결정이 이루어지는 온도를 말하는것인지
잘 모르겠습니다. 결정화된다는 것의 개념이 잘 잡히지 않습니다.
질문2: 만약 제가 말한 두번째 내용이 맞다면
다른 물질들도 증착할때 똑같은 온도로 증착을하고 식으면서
결정화가 될건데 왜 기판에 증착이 안된다고 하는지 알고싶습니다.
- 결정화온도
- SnO2
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2010-02-04- 1
(자료가 첨부되지 않았습니다) SnO2를 박막으로 증착하기 위한 initiator는 SnCl4 또는 Sn(OH)4를 사용하는데 이의 반응식은 SnCl4---->SnO2+4HCl 또는 Sn(OH)4--->SnO2+2H2O로 되어서 SnO2의 결정이 됩니다. 이때의 온도가 약500~600C의 온도에서 이루어 집니다. 이를 결정화 온도라고 합니다. (SnO2로 미리 만들어진 것으로 증착하지 않습니다) 이와 같이 SnO2는 결정화온도가 높습니다. 첨부 자료는 조금 다른 내용이지만 이것의 결정화 온도에서도 410C에 달합니다. 따라서 플라스틱과 같이 mp.가 낮은 물질에 증착은 안된다는 것입니다.