2010-02-09
org.kosen.entty.User@5f00d9a5
이영환(lyh201)
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반도체에서 다음 용어에 대한 설명이나 자료 부탁드립니다.
1. Wafer Notch
- semiconductor
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2010-02-10- 3
wafer를 표면 grinding하여 매끈하게 하여주는데,150mm이하는 한면을 평면으로, 200mm이상은 ginding할때 v자 형태로 홈을 파서(ingot상태에서 홈을 팜) wafer의 절단 및 grinding시 wafer가 움직이지 못하도록 잡아주기 위하여 notch를 wafer에 준 것을 wafer notch라고 합니다.