지식나눔

사파이어 기판에 관해 문의 드립니다.

사파이어 웨이퍼를 커팅하려고 합니다. 일정한 크기로 잘라서 성장 시키려고 하는데 다이아몬드 커터(오일커터) 로 자르려고 보니깐 결대로 잘 안잘리네요. 다이싱소 나 다이아몬드 소로 자르는게 괜찮을 건지 해서 여쭙니다. 보통이럴때는 어떻게 자르는지 잘 감이 안잡히네요. 도와주십쇼!!!! ps. gan 도 커팅하려고 하는데.. 이것또한 방법이 있을련지.....
  • 사파이어
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답변 2
  • 답변

    윤제정님의 답변

    >사파이어 웨이퍼를 커팅하려고 합니다. > >일정한 크기로 잘라서 성장 시키려고 하는데 다이아몬드 커터(오일커터) > >로 자르려고 보니깐 결대로 잘 안잘리네요. > >다이싱소 나 다이아몬드 소로 자르는게 괜찮을 건지 해서 여쭙니다. > >보통이럴때는 어떻게 자르는지 잘 감이 안잡히네요. > >도와주십쇼!!!! > >ps. gan 도 커팅하려고 하는데.. 이것또한 방법이 있을련지..... 온도를 컨트럴해보시는 것이 어떨 런지요
    >사파이어 웨이퍼를 커팅하려고 합니다. > >일정한 크기로 잘라서 성장 시키려고 하는데 다이아몬드 커터(오일커터) > >로 자르려고 보니깐 결대로 잘 안잘리네요. > >다이싱소 나 다이아몬드 소로 자르는게 괜찮을 건지 해서 여쭙니다. > >보통이럴때는 어떻게 자르는지 잘 감이 안잡히네요. > >도와주십쇼!!!! > >ps. gan 도 커팅하려고 하는데.. 이것또한 방법이 있을련지..... 온도를 컨트럴해보시는 것이 어떨 런지요

    답글 감사합니다.

  • 답변

    안길홍님의 답변

    일진에서 나오는 다이아몬드 saw로 절단하여도 가능하나, 더욱 나은 방법은 laser cutting방법을 사용하는 것이 좋습니다. GaN도 laser cutting방법을 적용하면 됩니다.
    일진에서 나오는 다이아몬드 saw로 절단하여도 가능하나, 더욱 나은 방법은 laser cutting방법을 사용하는 것이 좋습니다. GaN도 laser cutting방법을 적용하면 됩니다.

    답글 감사합니다.