2010-02-18
org.kosen.entty.User@65ba23c9
이낙준(nakjun01)
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안녕하세요 MEMS 공정중에 간단히 궁금한 점이 있어서 글올려봄니다. 제가 cantilever제작 공정중에서 KOH si etching 을 하게 되면 약 50도 정도의 경사가 생기면서 etching이 되는데 이 etching된 경사면에 선택적으로 소수성, 친수성으로 패터닝할수 있는 방법이 있을까요??
- KOH
- 경사면 패터닝
- 친수성 소수성
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
김정렬님의 답변
2010-02-22- 1
SAM 이라는 공정이 있습니다. Self Assembly Monolayer 라는 약어입니다. 간단하게 말하면 Terminal 에 친수성 소수성의 비를 조절하면 일정양의 수분을 유지할 수 있을 것으로 보입니다. 연구에 건투를 빌겠습니다. 일전에 반도체 미세 공정을 하기 위한 방법이였습니다. 독일 막스플랑크 연구소에서 나왔구요. 국내에서는 기반이 없었던 것으로 기억합니다. 하지만, 과제가 시행된 것으로 알고 있습니다. 참조하여 주세요. -
답변
안길홍님의 답변
2010-02-22- 1
cantilever제작 공정중에서 KOH si etching 을 하게 되면 약 50도 정도의 경사가 생기면서 etching이 되는데 이 etching된 경사면에 선택적으로 소수성, 친수성으로 패터닝할수 있는 방법이 있을까요?? ****************************************** 에칭에는 첨부 자료와 같이 등방성과 이방성이 있는데,KOH와 같은 용액으로 하는 에칭은 용액의 흐름성(계면,표면장력)으로 인하여 등방성 에칭밖에 되지 않는 특성이 있습니다. 이와 같이 에칭된 면에 선택적으로 소수성,친수성을 부여할려면 매우 세심한 처리공정이 있어야 가능할 것으로 생각합니다.소수성을 줄려면 실리콘과 같은 물질로 처리하면 가능할 것 같으며,친수성을 줄려면 첨부 자료와 같이 thiol처리하면 가능 할 것으로 생각하나, 동일한 면에 이러한 2가지 특성을 가지도록 패터닝하기에는 세밀한 작업이 있어야 가능할 것으로 생각합니다. 그리고 SAM은 thiol의 S로써 표면에 처리하는 방법으로 mercaptan으로 처리하는 방법도 있습니다.