2010-02-25
org.kosen.entty.User@75c369e2
박희우(phw10111)
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스퍼터링에서 플라즈마 원리를보면
전자와 부딪힌 아르곤 가스가 양이온이 되고 이차전자가 발생하는데
물질은 안정한 상태로 되려는 성질 때문에
아르곤 양이온은 전자를 다시 만나 재결합을 하는데
재결합을 하는 순간 hv빛이 발생합니다.
그 원리가 잘 이해가 가지않습니다.
oled같은 경우는 전자와 홀이 만날 경우
전자가 에너지 10이라하고 홀이 에너지가 10이라하면
만날때 중성체가 되서 에너지가 0인데 남은 에너지 20이 빛에너지로
방출되는것인데
위에서 말한 양이온과 전자가 만날때는 빛이 왜 발생하는지
이해가 잘 가지 않습니다.
- 플라즈마
- 빛 방출
- 스퍼터링
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2010-02-25- 4
양이온이 가진 높은 에너지가 바닥에너지(ground energy)로 떨어질 때 그에 해당하는 ΔE가 빛에너지로 변환되어 외부로 방출되는 것입니다. -
답변
박현국님의 답변
2010-07-17- 1
>스퍼터링에서 플라즈마 원리를보면>>전자와 부딪힌 아르곤 가스가 양이온이 되고 이차전자가 발생하는데>물질은 안정한 상태로 되려는 성질 때문에 >아르곤 양이온은 전자를 다시 만나 재결합을 하는데 >재결합을 하는 순간 hv빛이 발생합니다.>그 원리가 잘 이해가 가지않습니다.>>oled같은 경우는 전자와 홀이 만날 경우 >전자가 에너지 10이라하고 홀이 에너지가 10이라하면>만날때 중성체가 되서 에너지가 0인데 남은 에너지 20이 빛에너지로>방출되는것인데 >>위에서 말한 양이온과 전자가 만날때는 빛이 왜 발생하는지 >이해가 잘 가지 않습니다. 음극 스퍼터링에 의해 생긴 플라즈마를 보통 글로우 방전 플라즈마라고 합니다. 이 플라즈마는 기체(비활성기체, Ar, He, Ne 등)방전에 의해 생긴 플라즈마 입니다. 기체방전에서 빛이 방출되는 원리는 다음과 같습니다. 기체상의 물질이 높은 온도에 의해 원자화 되고, 원자의 최외각에 있는 전자가 외부로부터 받은 에너지에 의해 높은 에너지 상태로 올라갔다가 다시 안정한 상태로 돌아올때 빛 또는 열을 방출하게 됩니다. 질문자님께서 질문하신 양이온과 전자의 재결합에 의해 빛이 나오는 것은 보통 반도체에서 빛이 발생하게 되는 원리입니다. 즉, 기체방전이 아니라 고체방전(?)이라고 할 수 있겠죠