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지식나눔

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LED공정 중 플라즈마를 이용할 수 있는 부분

2010-03-09 org.kosen.entty.User@3b4d8b50 dlwlgns(nfk0000)
  • 1
플라즈마를 공부하는 학생입니다. LED에 관심이 생기면서 플라즈마 공정을 LED쪽에 적용시킬 수 있는 부분이 있는지 궁금합니다. 에피성장이나 칩부착 시 플라즈마 공정으로 표면개질이나 표면에너지를 증가시키면 혹시 계면본딩력이나 기타 장점으로 전환되어질 부분이 있는지요? 관련지식이 부족하여 막연하게 문의드려봅니다..
  • LED
  • 플라즈마
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답변 1
  • 답변

    서덕일님의 답변

    2014-11-18
    • 1
    LED 에서 일반적으로 MOCVD 로 GaN 에피 성장시키는데,
    Plasma 로 표면 상태 변화는 있는데, 표면 형상 변화 까지는 어렵습니다.

    말씀하신대로, hydrophilic 이나 hydrophobic 등으로 바꿀 수가 있겠죠.
    공정을 모두 열거하기는 어렵네요
    답변수정
    LED 에서 일반적으로 MOCVD 로 GaN 에피 성장시키는데,
    Plasma 로 표면 상태 변화는 있는데, 표면 형상 변화 까지는 어렵습니다.

    말씀하신대로, hydrophilic 이나 hydrophobic 등으로 바꿀 수가 있겠죠.
    공정을 모두 열거하기는 어렵네요
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