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지식나눔

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Si wafer의 Ta barrier를 etching 할때 어떻게 하는지 궁금합니다.

2010-03-12 org.kosen.entty.User@ac7322 손재구(sonjg88)
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Si wafer의 Ta barrier를 etching 할때 질산+불산을 사용하는데 그 조성비는 어떻게 해야 하나요.
  • Ta
  • barrier
  • etching
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