2010-04-22
org.kosen.entty.User@460a645a
최인호(pkhcih)
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제조시 Plasma를 이용하는 반도체나 박막등에 사용되는 gas와 그 gas를 사용하는 이유에 대해서 총괄적으로 설명된 자료를 찾고 있습니다.
- 반도체
- gas
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김선영님의 답변
2011-03-18- 0
어떤 반도체 공정이냐에 따라 사용 가스 및 유량이 달라집니다. ITO 박막 공정에 대한 논문을 하나 첨부합니다. 범용 Ar gas의 경우에는 반응 압력을 조절하고 공정 중간에 interval time을 주기위하여 사용하기도 합니다. >제조시 Plasma를 이용하는 반도체나 박막등에 사용되는 gas와 그 gas를 사용하는 이유에 대해서 총괄적으로 설명된 자료를 찾고 있습니다.