2010-04-30
org.kosen.entty.User@7c22b533
신승협(rainy123)
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Sputtering 법으로 박막제조시 산소가 함유되면 투과율이 변화가 되는데요...
그것이 산소 함량에 따른 변화인지 알고 싶습니다.
단지 다른 분위기에서 Sputter 를 하더라도 변화는 있는데 산소가 조금 더 활발한건가요?
일반적으로 산소분위기가 됨으로 인해 어떤 원리에서 그 투과율이 변화가 있는지
논문이나 아시는 내용 있으시면 답변을 부탁드립니다.
- Sputter
- 박막
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
윤영수님의 답변
2010-05-04- 2
>Sputtering 법으로 박막제조시 산소가 함유되면 투과율이 변화가 되는데요...>>그것이 산소 함량에 따른 변화인지 알고 싶습니다.>>단지 다른 분위기에서 Sputter 를 하더라도 변화는 있는데 산소가 조금 더 활발한건가요?>>일반적으로 산소분위기가 됨으로 인해 어떤 원리에서 그 투과율이 변화가 있는지>>논문이나 아시는 내용 있으시면 답변을 부탁드립니다.