2010-05-05
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임영진(notice)
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첨부파일
제가 Quartz glass에 열증착법을 이용하여 알루미늄을 증착하고자 합니다.
W-boat에 알루미늄 선재를 놓고 저항열로 녹이고 있습니다.
실험 후에 알루미늄은 아래의 그림과 같이 녹은것 같은데, 붙은 곳은 전혀 없습니다. 그래서 혹시 증착시간이 짧아서 그런지 싶어서 4시간 정도 계속 유지를 하였으나 전혀 변함이 없어서 이렇게 글을 올립니다.
제가 아는 지식이 없어서 자세한 설명부탁드립니다.
- 열증착
- 알루미늄
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
이영환님의 답변
2010-05-05- 2
>제가 Quartz glass에 열증착법을 이용하여 알루미늄을 증착하고자 합니다. > >W-boat에 알루미늄 선재를 놓고 저항열로 녹이고 있습니다. > >실험 후에 알루미늄은 아래의 그림과 같이 녹은것 같은데, 붙은 곳은 전혀 없습니다. 그래서 혹시 증착시간이 짧아서 그런지 싶어서 4시간 정도 계속 유지를 하였으나 전혀 변함이 없어서 이렇게 글을 올립니다. > >제가 아는 지식이 없어서 자세한 설명부탁드립니다. 실험 조건이 서로 다를 수 있지만 사진을 봐서는 더 큰 전류나 전압을 인가하여야 할 것 같습니다. 알루미늄은 순간적으로 더 큰 에너지를 가해서 증착을 시키는 것이 좋습니다. 어느 정도의 두께를 증착 하시는지 모르겠지만 알루미늄의 선재도 1 cm 이하로 잘라서 작업 하는 것이 알루미늄이 빠르게 녹을 수 있어서 좋습니다. 열량이 더 증가시키면 액체의 알루미늄이 빙글 빙글 회전하는 모습을 나타내고, 그 다음에 boat 전체로 넓게 퍼져 나간 후에 증발이 되어 증착이 되는 과정을 거치게 됩니다. 사진의 모습을 보아서는 일부분만 녹은 것 같고 기체 상태로 변하지는 못하거나 극히 미량만 증발한 것 같습니다. 더 큰 에너지를 가해서 짧은 시간에 증착을 시키는 것이 좋다고 생각합니다. -
답변
백인재님의 답변
2010-05-06- 2
>제가 Quartz glass에 열증착법을 이용하여 알루미늄을 증착하고자 합니다. > >W-boat에 알루미늄 선재를 놓고 저항열로 녹이고 있습니다. > >실험 후에 알루미늄은 아래의 그림과 같이 녹은것 같은데, 붙은 곳은 전혀 없습니다. 그래서 혹시 증착시간이 짧아서 그런지 싶어서 4시간 정도 계속 유지를 하였으나 전혀 변함이 없어서 이렇게 글을 올립니다. > >제가 아는 지식이 없어서 자세한 설명부탁드립니다. - 사진을 보면 Thermal Evaporator를 사용하시는듯 합니다. 일단 전압이 낮은경우로 보입니다. 전압을 높이시면 좋을듯 합니다. 그리고 진공도를 점검해보시는것도 좋을듯 합니다. 검은색으로 산화된것처럼 보이기도 합니다. 그리고 Source 는 잘라서 쓰시는게 좋습니다. 장비 제조업체에 문의하시면 기본적인 세팅값을 알려줄껍니다. Al의 경우 전압과 증착속도 등의 정보는 구하실 수 있습니다. 그걸 참고로 원하는 두께의 Al을 증착시키기 위한 설정을 잡아나가시면 될 것 입니다.