2010-05-18
org.kosen.entty.User@6873ff36
문효정(vivid1222)
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포러스한 기판에 졸겔 딥코팅 또는 스핀 코팅시..
진공을 주어 샘플을 부착 시키는 부분 때문에 박막이 균일하게 전체적으로 코팅이 되지 않네요. 혹시 경험이 있으시다거나 해결 방법을 아시는분 계신지요?
- 졸겔
- 박막
- 코팅
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2010-05-21- 0
포러스한 기판위에 아무리 caoting을 하여도 표면 상태는 포러스한 상태로 나타나게 되는데, 이의 이유는 기판의 포러스한 부분에는 기공이 있기 때문에 이의 내부에 기포를 생성할 수 있는 기체성분이 흡착되어 있으며, 이러한 흡착된 기체가 표면으로 방출되므로 표면은 기포자국이 나타나게 됩니다. 어떤 물질을 사용하는지 모르겠으나, 제일 먼저 포러스한 표면을 평활한 상태로 만들어 주는 것이 필요합니다. 즉 고형분이 높은 물질로써 표면을 메꾸어 준후(포러스한 면을 sealing) 그위에 원하는 물질을 적용하는 것이 필요합니다.
답변감사합니다. 그렇다면 포러스한 면을 막기위해 주로 사용하는 폴리머재료등이 있는지요? 또한 기판은 포러스한상태로 남아야 하고 코팅된 박막은 고온 열처리하여 덴스한 세라믹을 형성 시키려고 하는데 기판의 기공을 막은 물질이 열처리 동안 burning-out 되어야하는데..박막에 영향을 미칠꺼라 생각하는데요. 혹시 경험이 있으신지요?