2010-05-19
org.kosen.entty.User@3f3a8d83
박희우(phw10111)
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스퍼터링을하면 원자들이 기판에 모여서 핵성장이 일어난다는
말을 하는데 잘 이해가 가지 않습니다. 핵이라는것은 원자안에
전자를 끌어당기는 중심에 위치한것인데,,,
재 생각에는 핵이 모인다기보다는 원자들이 모여서 원자 성장을
이룬다고 말하는게 맞는것이 아닌가 하는 생각이듭니다.
- 스퍼터링
- 핵성장
- nucleation
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김선영님의 답변
2011-03-18- 0
PVD시에 원자들이 기판에 모여 핵성장을 한다는 말은 우리가 흔히 말하는 원자의 핵을 말하는 개념이 아니고 island 및 thin layer 형태로 기판 성장의 seed 역할을 하는 물질을 말합니다. PVD는 이름에 나와있듯이 물리적으로 타겟(target)에 힘을 가하여 증착을 하는 방식입니다. 그러한 결정성장 과정에서 전구체(precursor)를 해당 막에 형성하는 과정이 선행되게 되는게 이러한 것이 핵성장이라고 불리워지는 것입니다. 그러한 기본 막 또는 island가 형성되어야 계속 해당막에 결정 내지는 비정질 막이 형성될 수가 있게 됩니다. 답변이 도움이 되었으면 좋겠습니다 ^^ >스퍼터링을하면 원자들이 기판에 모여서 핵성장이 일어난다는 >>말을 하는데 잘 이해가 가지 않습니다. 핵이라는것은 원자안에>>전자를 끌어당기는 중심에 위치한것인데,,,>>재 생각에는 핵이 모인다기보다는 원자들이 모여서 원자 성장을 >>이룬다고 말하는게 맞는것이 아닌가 하는 생각이듭니다.