2010-05-20
org.kosen.entty.User@6c0675ea
박희우(phw10111)
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스퍼터링을할때 기판 원자들이
quasi-stable island를 형성하여
그것이 반복되어 island가 합쳐지면서
박막이 성장한다고 합니다.
여기서 quasi-stable이 어떤 의미인지 알고싶습니다.
- quasi-stable
- 박막
- 스퍼터링
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2010-05-21- 0
Si을 sputtering 할 때 시간 t에 따라서 최초에는 Si 단원자 몇개가 표면에 deposition되기 시작하며, 시간이 어느정도 경과하게 되면 Si단원자 몇십개로 증가하여 deposition되는 상태가 되나 sputtering하고자 하는 표면은 만족스러운 상태의 Si deposition된 상태로 까지는 도달하지 않았습니다.이러한 상태를 quasi-stable상태라고 하며, 이러한 상태는 시간 t가 설정된 시간에 도달하게 되면 표면은 균일하게 수백~수천개의 Si단원자가 표면에 deposition되어 sputtering이 완료되는 상태가 됩니다. 이와 같이 중간 단계의 상태로 이해하면 되겠습니다.