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지식나눔

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photoresist 희석 방법

2010-05-24 org.kosen.entty.User@186f736f 장종현(ican)
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photoresist를 희석하여 더 얇은 두께의 박막을 얻고자 합니다. 이런 경우 photoresist를 developer에 희석하여 사용하면 되는건지 혹시 아시는 분은 답변 부탁드립니다. 참고로, 제가 희석하여 사용하고자 하는 감광제는 polyimide입니다.
  • photoresist
  • solvent
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