2010-06-22
org.kosen.entty.User@41a48049
정종국(zzang036)
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안녕하십니까.
중국 현지에서 a-ITO 관련 업무를 진행예정에 있습니다만,
40nm두께를 같는 RT온도 조건에서 a-ITO 제작 중입니다.
이후에 80nm평가진행에 있어 결정화로 진행하는 경향성을 보여지고 있어
현재 반응성 Gas로 H2O를 넣고 있습니다만,H20유량을 증가시키는 방법으로 진행시
비저항 증가가 염려 되고 있습니다. 두께에 대한 결정화 메카니즘과 해결방법이 없는지
조언을 듣고 싶습니다.
답변 부탁드립니다.
- ITO
- 결정화
- 막 두께
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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