지식나눔

Cathode 온도 상승관련 질문드립니다.

ARC-PVD coating를 사용 중입니다. Target 표면에 Arc-ignition이 초기에는 발생되었다가 수초 후 꺼지는 현상이 발생하여, Cathode를 확인해 본 결과 Cathode에 온도가 80도정도 되는 것 보였습니다. 그런데, 냉각수의 in-,out-은 정상적인 온도를 유지합니다. Cathode 온도 상승 이유와 위 상황에서 Arc-Iginition이 잘 되지않는 원인등에 대해서 질문드립니다.
  • PVD coating
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변! 
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 0