2010-07-15
org.kosen.entty.User@48a6d4a0
한준희(enthink)
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반도체 웨이퍼는 일반적으로 Hall 측정으로 C.C.를 molten-KOH 로 EPD 검사를 하는데 비파괴로 할 수 있는 방법 혹은 장비가 있나요.
물론 면내 균일도를 봐야함으로 mapping 가능하면 좋구요.
- Carrier concentration
- EPD
- 비파괴 검사
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2010-07-18- 2
IR Lock-in thermography 기법을 적용하면 비파괴 검사와 같은 원리의 형태로써 가능합니다.
감사합니다. 그런데 이것을 이용한 검사장비가 있나요?