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thin film optical filters by sol-gel spin coating method

고/저 굴절률 물질을 이용하여 reflectance filter를 제조하려 합니다. transfer matrix를 이용하여 single layer, (H/L)^n multilayer의 reflectance spectrum을 simulation한 후 실험 결과와 비교하는 연구를 하고 있는데요. 현재 sol-gel법을 이용하여 고/저 굴절률 물질로 각각 TiO2, SiO2 sol을 제조해 박막을 형성하고 있습니다. 그런데.. 형성한 박막을 UV-vis로 분석해본 결과... simulation 결과와 상당히 다른데요... sol을 잘못 제조한 것인지,, adhesion이 잘 안된 것인지.. 박막의 균일성이 부족한것인지.. 잔여 불순물 때문에 그런 것인지... 왜 그런지 도통 모르겠습니다.. 알려주시면 감사하겠습니다.
  • sol-gel
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답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    sol-gel법에 의하여 제조하는 것은 올바른 방법이나,단순히 gel만 가지고 spin coating하게 되면 박막의 균일성 및 부착성이 떨어지게 되어 균일하게 나오지 않습니다. sol-gel법에 의하여 제조된 시작 물질에 소재 표면과의 부착을 향상시키는 wetting제 (일종의 silane계열) 와 spin coating시 표면이 평활하게,균일한 두께가 나올 수 있도록 표면 평활제인 첨가제를 0.2~0.5%첨가하여서 시행하여야 원하는 도막의 균일도가 나오게 됩니다.표면 평활제는 도료 첨가제를 판매하는 회사에서 sample로 소량을 무상 공급받을 수 있습니다.
    sol-gel법에 의하여 제조하는 것은 올바른 방법이나,단순히 gel만 가지고 spin coating하게 되면 박막의 균일성 및 부착성이 떨어지게 되어 균일하게 나오지 않습니다. sol-gel법에 의하여 제조된 시작 물질에 소재 표면과의 부착을 향상시키는 wetting제 (일종의 silane계열) 와 spin coating시 표면이 평활하게,균일한 두께가 나올 수 있도록 표면 평활제인 첨가제를 0.2~0.5%첨가하여서 시행하여야 원하는 도막의 균일도가 나오게 됩니다.표면 평활제는 도료 첨가제를 판매하는 회사에서 sample로 소량을 무상 공급받을 수 있습니다.
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