2010-08-19
org.kosen.entty.User@150c7a17
정종국(zzang036)
- 0
안녕하십니까.
금번 중국현지에서 스퍼터링 실험 진행중 박막 두께가 제어가 어려워 이곳에
도움을 요청합니다.
금번 Mo 단일막 스퍼터링 진행시 Detack 단사측정기를 이용한 성막RATE평가를
진행하여 확인한 결과 2800A/min 결과가 확인후
500A성막을 진행을 했습니다만, 실제 SEM 통한 평가 결과 800A 두께를 같는
결과가 확인 되었습니다.
32초 성막시 박막 1500A두께 이상에서는 어느정도 정확한
1400~1600막두께 범위가 찾았습니다.
근본적으로 500A이하 박막제어가 힘든 걸까요..? 아니면 측정에 대한 문제로 봐야 하는지
(SEM*70000배율로 확인)
많은 조언 부탁드립니다.
- 스퍼터링
- Thin film
- 박막
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 0