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Fluorine(F) 표면처리

제가 CrO위에 표면처리를 하고자 합니다. fluorine이 표면에 있어야하는데... 어떤 방법이 있을까요??? 현재까지는 SAM coating을 해봤는데 효과가 좀 약해서 다른 방법이 있는지 궁금합니다.
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