2010-10-05
org.kosen.entty.User@43001d09
최진성(semi75)
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Silicon Wafer에 hole을 ？고자합니다
일종의 drilling기술로서 MEMS 또는 GaAs에 사용된다고 합니다.
이러한 기술에 대한 정보를 얻고자 합니다.
일반적으로는 화학적인 방법인 Chemical이용(jet방법)
Physical 적인 방법으로는 drilling (laser이용)을 생각할수 있는데
자료나 혹 정보를 알았으면 합니다.
- Siliocn wafer
- MEMS
- drilling
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