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지식나눔

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절연막의 수소 농도에 따른 건식 식각 속도 변화

2010-10-28 org.kosen.entty.User@507c29d9 이상호(RGB3)
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절연막을 CVD로 형성할 때 수소가 함유되는 것으로 알고 있습니다. 그래서 절연막(특히 실리콘 산화막) 내의 수소 농도에 따라서 건식 식각 속도의 차이가 있는지 알고 싶습니다. 있다면 어느 정도나 있는지도 궁금합니다. 관련 자료가 있으면 추천해 주시기 바랍니다.
  • 식각 속도
  • 수소
  • 절연막
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