2010-10-29
org.kosen.entty.User@5b19ab55
한구희(iqzero192)
- 1
sol-gel spin coating법을 이용해 glass위에 thin film을 형성하는 연구를 하고 있습니다.
thin film의 적층을 통해 multilayer를 구현하고 싶은데
각 박막 표면의 남은 잔유물(alkoxy group)때문에 적층 시 문제가 발생하네요.
일반적으로는 플라즈마 클리닝을 이용해 alkoxy group를 제거한다고 하는데요.
혹시 다른 방법이 없을까해서 문의드립니다.
화학적 반응에 의한 처리라던가.. 마이크로웨이브 처리라던가..
도움주시면 감사하겠습니다.
- thin film
- sol-gel
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
안길홍님의 답변
2010-10-30- 0
실험 장치가 허용한다면 전기로에 질소가스를 주입하여 한번 더 가열하여 주시면 어느정도 제거가 가능합니다.
감사합니다!