2010-11-24
org.kosen.entty.User@df9debd
오선미(joy510)
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압전 세라믹 (PZT)를 에칭하여 광학구조를 보고자 하는데
어떤 에칭액으로 어떻게 해야 하나요??
- 압전
- 에칭
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
한진규님의 답변
2017-01-04- 0
매우 독해서 사용을 꺼려하는 용액이긴 한데.. HF 솔루션이 결국은 마지막에 해볼만한 산 용액입니다.
하지만 용액 에칭은 아무래도 균일하게 에칭되질 않아 보통은 메카니컬하게 에칭을 합니다.