2010-11-26
org.kosen.entty.User@64a5ac0
김형섭(gtool77)
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High Power Impulse Magnetron Sputtering(HIPIMS)에 대해 궁금증이 있어서 질문을 드립니다.
일반적으로 스퍼터링 장비에 사용한다고 알고 있는데 Arc ion plating 방식의 PVD에도 적용이 가능한지 알고 싶습니다.
고수님들의 답변을 기다리겠습니다.^^
- sputtering
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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