2010-12-06
org.kosen.entty.User@17601db1
진실로(jinsilo1st)
- 1
두께가 ~50nm, ~600nm인 PMMA film의 기계적 특성을 알고싶은데요
이전에 나노UTM으로 실험을 해보았는데 샘플을 고정시켰을때(필름 양쪽에 지지대로 고정) 생기는 wrinkle때문에 오차가 좀 크더라고요..
DMA로도 측정하려고 시도해보았는데 Tan d 피크(Tg)가 나오다가 film이 늘어나거나 끊어지는 현상도 있고 노이즈도 심해 측정에 어려움이 있습니다.
spin coating으로 wafer에 film을 만들고 있는데 혹시 film을 떼지 않고 측정할 수 있는 기기나, freestanding film으로 측정할 수 있는 다른 기기 있으면 답볍 부탁드릴께요~
- 박막
- 기계적 특성
- mechanical
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
변성천님의 답변
2010-12-07- 0
원리 : 미소압자를 이용하여 압입 또는 긁기를 수행하여 힘과 변위를 측정한 후, 그로부터 박막이나 미세소자의 기계적 물성을 얻는다. 기본적으로 탄성계수, 경도, 파괴인성, 표면윤곽 등을 측정할 수 있으며 CSM(Continuous Stiffness Measurement) 모듈 추가를 통하여 깊이에 따른 물성과 크립 현상을 측정할 수 있다. 응용분야 : ● 박막의 항복강도, 가공경화 실험 ● 박막의 모재간 접합강도 연구 ● 극세선의 잔류응력분포 측정 충북대학교 공동실험실습관에 나노인덴터 보유 AFM으로 가능하지만, 나노인덴터가 더 나을 것 같네요. >두께가 ~50nm, ~600nm인 PMMA film의 기계적 특성을 알고싶은데요 > >이전에 나노UTM으로 실험을 해보았는데 샘플을 고정시켰을때(필름 양쪽에 지지대로 고정) 생기는 wrinkle때문에 오차가 좀 크더라고요.. > >DMA로도 측정하려고 시도해보았는데 Tan d 피크(Tg)가 나오다가 film이 늘어나거나 끊어지는 현상도 있고 노이즈도 심해 측정에 어려움이 있습니다. > >spin coating으로 wafer에 film을 만들고 있는데 혹시 film을 떼지 않고 측정할 수 있는 기기나, freestanding film으로 측정할 수 있는 다른 기기 있으면 답볍 부탁드릴께요~