2010-12-07
org.kosen.entty.User@4af63154
이승환(ichsh)
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투명기판(PET, PEN)등 위에 10~200nm 정도의 두께를 측정하고 싶은데요. 엘립소미터로는 투명해서 어려운 것 같은데 방법이 있는지요?
다른 방법이 있는지요?
또한, 여러층을 적층도 해야하는데 이때에도 두께 측정 방법이 있는지요?
- 박막 두께
- 나노 박막
- 두께
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답변 3
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답변
안길홍님의 답변
2010-12-07- 0
비철금속 도막측정기를 사용하면 됩니다. 그러나 nm단위로 측정할 수 있는 계측기는 가격면에서 일반적으로 2,000만원 정도의 예산이 있어야 구입가능합니다. 포항에 있는 나노 센터에 측정 의뢰하는 것이 좋을 것 같습니다. -
답변
변성천님의 답변
2010-12-07- 0
요즘 SEM 분해능이 1nm정도임으로 시편의 단면을 FE-SEM으로 관찰하는 것이 나을 것 같네요. TEM 혹은 XRD(XRR)로도 가능할 것 같은데요. XRR은 XRD를 엘립소미터와 같이 사용하다고 생각하면 될것같네요. 그런데, 아마도 두께가 수십 nm로 알아있어서 현 샘플은 어렵지 않나 싶네요. >투명기판(PET, PEN)등 위에 10~200nm 정도의 두께를 측정하고 싶은데요. 엘립소미터로는 투명해서 어려운 것 같은데 방법이 있는지요? > >다른 방법이 있는지요? > >또한, 여러층을 적층도 해야하는데 이때에도 두께 측정 방법이 있는지요? -
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김선영님의 답변
2011-03-14- 0
나노미터 단위이고 여러층을 적층하신 상태라면 SIMS 나 XRF는 어떨까 합니다. 물론 측정가격이 고가이지만, 결과는 정확한 편입니다. (그리고 성분 분석이 같이 됩니다.) 두께측정시에 예상하는 대략적인 두께를 미리 측정하시는 분께 말씀을 드려야 측정할 수 있습니다. 아니면 다른 분이 말씀하신 것처럼 TEM, FIB로 측정하시는게 나을 듯 싶습니다. 나노단위라면 다른 stylus 방법으로는 오차가 너무 큽니다. >투명기판(PET, PEN)등 위에 10~200nm 정도의 두께를 측정하고 싶은데요. 엘립소미터로는 투명해서 어려운 것 같은데 방법이 있는지요? > >다른 방법이 있는지요? > >또한, 여러층을 적층도 해야하는데 이때에도 두께 측정 방법이 있는지요?