2010-12-24
org.kosen.entty.User@15a84c53
오동현(dream91)
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고점도의 아크릴 용액을 스핀코팅할때 기판 뒷면으로 넘어가는 솜사탕이 문제가 됩니다.
backside-rinse를 실행하고는 있으나 완벽한 저감이 어렵습니다.
공정적으로나, 아크릴 재료적인 측면에서 이 문제에 대한 접근 방법에 대해 조언해주시면 감사하겠습니다.
또, 동일 점도에서 tacky한 성질만 낮추는 방법관련 일반적인 지혜를 나눠주세요.
- cotton-candy
- spin-coating
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답변 1
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답변
박병규님의 답변
2011-01-18- 0
잘 아시겠지만, 특별한 방법이 없습니다. 공정온도가 일정할 경우, 코팅재료의 물성-점도,표면장력 등-이 일정하므로 원주속도와 반경속도에 따라 액막의 안정성이 결정됩니다. 액막이 액주 액사 액적으로 변하는 것이므로... 실험조건에 맞게 코팅재료의 dose를 최소한으로 줄이고, (소자시편이라면) 디스크직경을 줄이고, 회전속도를 줄여 코팅시간을 늘리는 게 좋을 듯하네요. 많이 사용한다면 액사를 모으는 전용 치구를 만들거나 wafer supporter 설계 제작하면 괜찮을 듯합니다. 도움되었기를 ... >고점도의 아크릴 용액을 스핀코팅할때 기판 뒷면으로 넘어가는 솜사탕이 문제가 됩니다. >backside-rinse를 실행하고는 있으나 완벽한 저감이 어렵습니다. > >공정적으로나, 아크릴 재료적인 측면에서 이 문제에 대한 접근 방법에 대해 조언해주시면 감사하겠습니다. > >또, 동일 점도에서 tacky한 성질만 낮추는 방법관련 일반적인 지혜를 나눠주세요.