2011-02-21
org.kosen.entty.User@7ea71e8b
박제성(tulp)
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CVD관련 Lab 반응기 제작을 해보려고 합니다.
자료를보니 증착 반응 자체가 반응물에 따라 700~1100C 에서 일어나네요.
그래서 quartz cell 내부에 직경 3mm의 graphite rod(흑연봉)를 설치하고 current를
걸어 고온으로 유지하면서 반응가스를 흘려주는 방법이 논문에 있는데...
똑같은 반응기를 제작해보려고 합니다만,
흑연 graphite에 대한 정보가 너무 부족하네요.
우선 흑연은 전도체로 알고 있는데, 저항값이 작아서 1000C 까지 올리려면 대전류를
흘려줘야할 것 같고, 온도측정은 pyrometer로 가능할 거 같은데, 흑연 발열체의
온도를 컨트롤 하기 위해서는 어떻게 전류를 제어할 것인지도 잘 모르겠네요.
그리고 실험에 사용할 흑연봉을 어떻게 가공해야할지...
(이런 걸 원하는대로 원료 공급 및 가공해주는 업체가 있을지...)
흑연의 특성에 따라 저항도 많이 달라질 듯한데요.
어디서 부터 시작을 해야할 지 잘 몰라 질문이 두서가 없지만,
혹시 관련 연구 경험자분의 조언을 듣고 싶어서 질문올립니다.
- 흑연
- graphite
- cvd
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
김강형님의 답변
2015-02-02- 0
첨부파일
미해결 질문에 있는 질문들을 살펴보다 제가 도움을 드릴 수 있는 내용이 나왔기에 늦었지만 답글을 올립니다.
경기도 용인에 있는 EMST 이선수 사장님을 찾아 문의하시면 친절하게 상담해 드릴 것 입니다.
031-334-1453
진공로 안에서의 가열에서 흑연발열체가 가장 많이 쓰이고 있습니다.
온도측정도 열전대로 가능하므로 염려하시는 내용들은 충분히 해결 가능합니다.
진공로 튜브의 길이와 직경에 따라 온도 상승이 가능할 지 여부가 결정될 것으로 예상됩니다.
EMST 사이트를 검색하셔서 들어가 보시면 도움될 것입니다.
진공로 제작은 수원에 있는 싸에엔텍이 값싸고 실용적으로 잘 만드는 것 같습니다.
031-224-3280 김영재 사장