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지식나눔

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IGZO 공정에 관한 질문입니다.

2011-03-07 org.kosen.entty.User@4bce1846 정영의(bluenajjang)
  • 2
일단 제가 아는 정보는

IGZO를 Spin Coater로 올렸는데 Dry와 Wet 두가지 방법으로 했다고 하는데

Dry와 Wet 이 의미하는게 무엇인지 잘모르겠습니다.
  • Dry
  • wet
  • IGZO
  • Spin Coater
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답변 2
  • 답변

    한명수님의 답변

    2011-03-09
    • 2
    >일단 제가 아는 정보는 > >IGZO를 Spin Coater로 올렸는데 Dry와 Wet 두가지 방법으로 했다고 하는데 > >Dry와 Wet 이 의미하는게 무엇인지 잘모르겠습니다. IGZO는 InGaZnO로써 반도체 박막으로 어느정도 두께를 가지고 있어야 하므로 한번코팅한 후 baking 또는 열처리를 수행합니다. 이 때 spin coating은 액상으로 코팅이 되므로 wet, 열처리는 dry 로 표현된 것으로 보입니다.
    답변수정
    >일단 제가 아는 정보는 > >IGZO를 Spin Coater로 올렸는데 Dry와 Wet 두가지 방법으로 했다고 하는데 > >Dry와 Wet 이 의미하는게 무엇인지 잘모르겠습니다. IGZO는 InGaZnO로써 반도체 박막으로 어느정도 두께를 가지고 있어야 하므로 한번코팅한 후 baking 또는 열처리를 수행합니다. 이 때 spin coating은 액상으로 코팅이 되므로 wet, 열처리는 dry 로 표현된 것으로 보입니다.
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    남규현님의 답변

    2011-03-10
    • 0
    >일단 제가 아는 정보는 > >IGZO를 Spin Coater로 올렸는데 Dry와 Wet 두가지 방법으로 했다고 하는데 > >Dry와 Wet 이 의미하는게 무엇인지 잘모르겠습니다. 스핀코팅으로 박막을 만들경우 솔루션상태의 IGZO를 사용해야되기때문에 wet으로 표현한거같고, IGZO를 스퍼터 방식으로 올릴경우엔 IGZO가 스퍼터용 타겟으로 되어있기 때문에 dry라고 표현한것이 아닐까요?
    답변수정
    >일단 제가 아는 정보는 > >IGZO를 Spin Coater로 올렸는데 Dry와 Wet 두가지 방법으로 했다고 하는데 > >Dry와 Wet 이 의미하는게 무엇인지 잘모르겠습니다. 스핀코팅으로 박막을 만들경우 솔루션상태의 IGZO를 사용해야되기때문에 wet으로 표현한거같고, IGZO를 스퍼터 방식으로 올릴경우엔 IGZO가 스퍼터용 타겟으로 되어있기 때문에 dry라고 표현한것이 아닐까요?
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