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지식나눔

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XPS peak 분석 툴관련 문의드립니다.

2011-03-29 org.kosen.entty.User@58fb3d41 이동희(dhl91)
  • 2
XPS 분석 결과를 판독하다가 궁금한 사항이 있어 도움 요청합니다. XPS 시험 결과를 받았는데 엑셀파일로 된 curve를 받았습니다. C1s peak 나 Si2p peak 같은 경우 비슷한 bonding energy를 갖고있는 성분들의 합산되어 peak로 나타나는데 논문들을 보다보면 합산된 curve를 세부적으로 분리해서 각각의 eV에서의 최대 peak를 정량적으로 분리하는 논문들이 있더군요. 이렇게 합산된 curve에서 각각의 eV별로 분리시키는 도구로 어떤 걸 이용해야 하는지 도움주시면 감사하겠습니다. Ex) 제가 가진 결과는 C1s peak에 대해 합쳐진 형태로 나오는데 아래의 각 성분별로 분리하고 peak 값을 찾는 방법을 알고 싶습니다. C-Si (282.7 eV) C-C/C-H (284.7 eV) C-O (287.1 eV) O-C=O (289.1 eV)
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답변 2
  • 답변

    신동호님의 답변

    2011-03-30
    • 2
    >XPS 분석 결과를 판독하다가 궁금한 사항이 있어 도움 요청합니다. > >XPS 시험 결과를 받았는데 엑셀파일로 된 curve를 받았습니다. >C1s peak 나 Si2p peak 같은 경우 비슷한 bonding energy를 갖고있는 성분들의 >합산되어 peak로 나타나는데 논문들을 보다보면 합산된 curve를 세부적으로 분리해서 각각의 eV에서의 최대 peak를 정량적으로 분리하는 논문들이 있더군요. >이렇게 합산된 curve에서 각각의 eV별로 분리시키는 도구로 어떤 걸 이용해야 하는지 도움주시면 감사하겠습니다. > >Ex) >제가 가진 결과는 C1s peak에 대해 합쳐진 형태로 나오는데 아래의 각 성분별로 분리하고 peak 값을 찾는 방법을 알고 싶습니다. > > C-Si (282.7 eV) > C-C/C-H (284.7 eV) > C-O (287.1 eV) > O-C=O (289.1 eV) > > 원래 XPS peak 분석은 여러가지 방법이 있습니다. 가장 손쉬운 방법은 XPS 분석의뢰할 때 curve fitting을 의뢰하면 됩니다만, 예전 XPS 장비를 사용하는 곳에서는 불가능 하구요.. 분석자가 집적 하는 것이 더 정확하다고 생각됩니다. 주로 Origin 툴을 사용하여 Guassian and Lorentzian functions에 근거한 것으로 analysis-fitting-fit mult peaks 메뉴를 사용하면 됩니다. 그런데 처음에 사용하기에는 많이 어려운 점이 있으니 origin 도움말을 참조하여 하시면 좋을 것 같네요. 참고로 아래 사이트에서 XPS분석에 필요한 reference 가 있으니 잘 찾아보시기 바랍니다. http://srdata.nist.gov/xps/
    답변수정
    >XPS 분석 결과를 판독하다가 궁금한 사항이 있어 도움 요청합니다. > >XPS 시험 결과를 받았는데 엑셀파일로 된 curve를 받았습니다. >C1s peak 나 Si2p peak 같은 경우 비슷한 bonding energy를 갖고있는 성분들의 >합산되어 peak로 나타나는데 논문들을 보다보면 합산된 curve를 세부적으로 분리해서 각각의 eV에서의 최대 peak를 정량적으로 분리하는 논문들이 있더군요. >이렇게 합산된 curve에서 각각의 eV별로 분리시키는 도구로 어떤 걸 이용해야 하는지 도움주시면 감사하겠습니다. > >Ex) >제가 가진 결과는 C1s peak에 대해 합쳐진 형태로 나오는데 아래의 각 성분별로 분리하고 peak 값을 찾는 방법을 알고 싶습니다. > > C-Si (282.7 eV) > C-C/C-H (284.7 eV) > C-O (287.1 eV) > O-C=O (289.1 eV) > > 원래 XPS peak 분석은 여러가지 방법이 있습니다. 가장 손쉬운 방법은 XPS 분석의뢰할 때 curve fitting을 의뢰하면 됩니다만, 예전 XPS 장비를 사용하는 곳에서는 불가능 하구요.. 분석자가 집적 하는 것이 더 정확하다고 생각됩니다. 주로 Origin 툴을 사용하여 Guassian and Lorentzian functions에 근거한 것으로 analysis-fitting-fit mult peaks 메뉴를 사용하면 됩니다. 그런데 처음에 사용하기에는 많이 어려운 점이 있으니 origin 도움말을 참조하여 하시면 좋을 것 같네요. 참고로 아래 사이트에서 XPS분석에 필요한 reference 가 있으니 잘 찾아보시기 바랍니다. http://srdata.nist.gov/xps/
    이동희(dhl91) 2011-03-30

    도움이 많이 되었습니다. 감사합니다.

  • 답변

    강태구님의 답변

    2011-03-29
    • 0
    >XPS 분석 결과를 판독하다가 궁금한 사항이 있어 도움 요청합니다. > >XPS 시험 결과를 받았는데 엑셀파일로 된 curve를 받았습니다. >C1s peak 나 Si2p peak 같은 경우 비슷한 bonding energy를 갖고있는 성분들의 >합산되어 peak로 나타나는데 논문들을 보다보면 합산된 curve를 세부적으로 분리해서 각각의 eV에서의 최대 peak를 정량적으로 분리하는 논문들이 있더군요. >이렇게 합산된 curve에서 각각의 eV별로 분리시키는 도구로 어떤 걸 이용해야 하는지 도움주시면 감사하겠습니다. > >Ex) >제가 가진 결과는 C1s peak에 대해 합쳐진 형태로 나오는데 아래의 각 성분별로 분리하고 peak 값을 찾는 방법을 알고 싶습니다. > > C-Si (282.7 eV) > C-C/C-H (284.7 eV) > C-O (287.1 eV) > O-C=O (289.1 eV) > > [답변] 제가 아는 바는 이렇습니다. XPS 분석의 경우 성분 원소별 배위된 물질의 X선에 대한 결합에너지를 측정하는데 Si2p를 예로 든다면 상대 counter 물질과 연계하여 Si원자의 p궤도 함수의 전자 에너지 준위가 해당 X선에 여기되어 에너지 준위차를 갖는 의미이므로 다른 궤도 함수는 나타나지 않는거라고 알고 있습니다. 즉 Si2p peak는 상대 배위된 물질에 연계된 Si원자가 유독 p궤도 함수의 전자가 감응을 하는 에너지 관계를 갖는다라는 의미로 알고 있습니다. 그래서 원자의 전자껍질 가령 1s2s2p3s3p3d......궤도함수에서 배위되는 물질과의 특성에 따라 s궤도 혹은 p궤도 전자가 배위된 원소와의 상관관계 상호 인터액션 등에 따라 여기되는 그런 관계인 것으로 알고 있습니다
    답변수정
    >XPS 분석 결과를 판독하다가 궁금한 사항이 있어 도움 요청합니다. > >XPS 시험 결과를 받았는데 엑셀파일로 된 curve를 받았습니다. >C1s peak 나 Si2p peak 같은 경우 비슷한 bonding energy를 갖고있는 성분들의 >합산되어 peak로 나타나는데 논문들을 보다보면 합산된 curve를 세부적으로 분리해서 각각의 eV에서의 최대 peak를 정량적으로 분리하는 논문들이 있더군요. >이렇게 합산된 curve에서 각각의 eV별로 분리시키는 도구로 어떤 걸 이용해야 하는지 도움주시면 감사하겠습니다. > >Ex) >제가 가진 결과는 C1s peak에 대해 합쳐진 형태로 나오는데 아래의 각 성분별로 분리하고 peak 값을 찾는 방법을 알고 싶습니다. > > C-Si (282.7 eV) > C-C/C-H (284.7 eV) > C-O (287.1 eV) > O-C=O (289.1 eV) > > [답변] 제가 아는 바는 이렇습니다. XPS 분석의 경우 성분 원소별 배위된 물질의 X선에 대한 결합에너지를 측정하는데 Si2p를 예로 든다면 상대 counter 물질과 연계하여 Si원자의 p궤도 함수의 전자 에너지 준위가 해당 X선에 여기되어 에너지 준위차를 갖는 의미이므로 다른 궤도 함수는 나타나지 않는거라고 알고 있습니다. 즉 Si2p peak는 상대 배위된 물질에 연계된 Si원자가 유독 p궤도 함수의 전자가 감응을 하는 에너지 관계를 갖는다라는 의미로 알고 있습니다. 그래서 원자의 전자껍질 가령 1s2s2p3s3p3d......궤도함수에서 배위되는 물질과의 특성에 따라 s궤도 혹은 p궤도 전자가 배위된 원소와의 상관관계 상호 인터액션 등에 따라 여기되는 그런 관계인 것으로 알고 있습니다
    이동희(dhl91) 2011-03-29

    답변 감사합니다 문자로 보내줘서 바로 왔네요 ^^
    근데, 저의 질문과는 다른 답변인 것 같습니다.
    제 요지는 Si2p라도 Silicate 계열이나 Silicone계열이냐에 따라 인접한 두개의 피크가
    합산된 값으로 Si2p가 나오는데 이걸 각각의 peak으로 분리시키는 방법을 묻는 것입니다.

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