2011-04-05
org.kosen.entty.User@cbc50c1
송주희(sjh1174)
- 1
GaN LED제작 과정 중에서 p-GaN까지 증착되있는 상태에서 전극을 올리기 전에 cleaning 과정에 대해 자세히 알고 싶습니다.
- cleaning을 할때 어떤 용액을 사용해야하는지, cleaning time, 순서 등
- cleaning을 통해 제거할 수 있는 유기물이나 오염물은 어떤것이 있는지 등
귀중한 답변 부탁드립니다~^^
- GaN surface
- cleaning
- fab 공정
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
서덕일님의 답변
2011-07-25- 0
Wet 이면 다 됩니다.
유기도 되고 산 클리닝도 되고
다만 plasma 클리닝은 안됩니다.
p-GaN 데미지
-------------------------------------질문-------------------------------------
GaN LED제작 과정 중에서 p-GaN까지 증착되있는 상태에서 전극을 올리기 전에 cleaning 과정에 대해 자세히 알고 싶습니다. - cleaning을 할때 어떤 용액을 사용해야하는지, cleaning time, 순서 등 - cleaning을 통해 제거할 수 있는 유기물이나 오염물은 어떤것이 있는지 등 귀중한 답변 부탁드립니다~^^