2011-05-21
org.kosen.entty.User@693a7664
임민철(kenbabo)
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silicon nitride 박막을 증착하는 과정에 대한 질문입니다.
일반적으로 진행되는 과정이 Si Wafer상에서 진행되는것 같은데
혹시 glass 혹은 Si wafer에 Al2O3를 먼저 증착시키고 그 위에 Silicon nitride를 올릴 수는 없는건가요?
전공이 생명공학이라 지식이 많지 않아..질문을 올립니다.
답변부탁드릴께요
일반적으로 진행되는 과정이 Si Wafer상에서 진행되는것 같은데
혹시 glass 혹은 Si wafer에 Al2O3를 먼저 증착시키고 그 위에 Silicon nitride를 올릴 수는 없는건가요?
전공이 생명공학이라 지식이 많지 않아..질문을 올립니다.
답변부탁드릴께요
- 실리콘 산화질화막
- Silicon nitride
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
김상문님의 답변
2011-05-25- 0
>silicon nitride 박막을 증착하는 과정에 대한 질문입니다. >일반적으로 진행되는 과정이 Si Wafer상에서 진행되는것 같은데 > >혹시 glass 혹은 Si wafer에 Al2O3를 먼저 증착시키고 그 위에 Silicon nitride를 올릴 수는 없는건가요? > >전공이 생명공학이라 지식이 많지 않아..질문을 올립니다. >답변부탁드릴께요 [ 답 변 ] 가능합니다. PECVD를 사용합니다. silicon nitride(Si3N4) 박막은 보통 반도체 회로를 보호하기 위한 보호막, 부동태막으로 사용됩니다. TFT-LCD 같은 경우 유리 위에 형성합니다. 유리 위에 Al2O3를 증착하고 Si3N4막을 형성 후 어떻게 사용하실 건지요? 왜 그렇게 할려고 하는지 모르겠습니다. -
답변
오영제님의 답변
2011-05-25- 0
>silicon nitride 박막을 증착하는 과정에 대한 질문입니다. >일반적으로 진행되는 과정이 Si Wafer상에서 진행되는것 같은데 > >혹시 glass 혹은 Si wafer에 Al2O3를 먼저 증착시키고 그 위에 Silicon nitride를 올릴 수는 없는건가요? > >전공이 생명공학이라 지식이 많지 않아..질문을 올립니다. >답변부탁드릴께요 가능합니다. glass 혹은 Al2O3/Si 기판에 silicon nitride 증착 가능합니다. 일반적으로 기판 종류에 따라. 형성되는 SiN 의 결정성이 차이납니다.
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답변
이정환님의 답변
2011-06-02- 0
일반적으로 Si wafer 상에 Silicon nitride 박막을 증착하는데는 LPCVD(Low Pessure Chemical Vapor Deposition) 장비가 사용됩니다. 다소 고온에서 공정이 되기 때문에, Glass 기판의 종류가 어떤것인지 모르겠지만, Glass가 깨질 수도 있으니 PE-CVD(Plasma-enhanced CVD) 장비를 추천합니다. (Sodalime, Pyrex, Quartz 등) Si/Al2O3 기판이나, Glass/Al2O3 기판상에도 증착이 가능합니다. 다만, PE-CVD 공정으로 형성된 박막은 정확히 silicon nitride(Si3N4)가 형성되지 않고 SixNy의 형태로 형성될 수 있으니, 주의하시길 바랍니다. 디바이스 상에 절연막으로 사용하실것이 아니라, 바이오 쪽에 사용하실 것이라면 PE-CVD 방법도 괜찮을것 같습니다. >silicon nitride 박막을 증착하는 과정에 대한 질문입니다. >일반적으로 진행되는 과정이 Si Wafer상에서 진행되는것 같은데 > >혹시 glass 혹은 Si wafer에 Al2O3를 먼저 증착시키고 그 위에 Silicon nitride를 올릴 수는 없는건가요? > >전공이 생명공학이라 지식이 많지 않아..질문을 올립니다. >답변부탁드릴께요