2011-05-30
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이근우(kkeun8722)
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고수님들께 여쭙니다.
제가 PR Mold를 만들어야 하는데 PR을 어느 것이 적당할 지 몰라서 추천 부탁드립니다.
PR은 일단 무조건적으로 Su-8을 사용해야합니다.
제가 하려는 PR Mold는 지름 80 ~ 100㎛, 두께 100㎛의 원형 홀 부분이 현상이 되게끔
해야 합니다.
Su-8을 반드시 사용하라고 해서요. Su-8도 여러가지 종류가 있는지라 어느것을 선택해야 할지 잘 모르겠습니다.
고수님들께서 알려주시기 바랍니다.
- photoresist
- Mold
- SU-8
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
이기수님의 답변
2011-05-30- 2
잘 아시겠지만 SU-8은 주로 Microchem사의 제품을 주로 사용하였습니다 높이가 대략 100um의 몰드를 만드시려고 하는 것 같은데 아마 Microchem사의 website를 방문하시면 원하는 height에 따른 rpm과 exposure time, 열처리 온도 조건이 잘 나와있습니다. Microchem사의 메뉴얼을 잘 활용해보시는 것이 좋을 것 같습니다 그리고 혹시 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)가 사용가능하시다면, 일반 PR을 이용한후 DRIE로 etching하시는게 좀더 정확한 height를 얻으실수 있을 것 같습니다 참고하시기 바랍니다 >고수님들께 여쭙니다. > >제가 PR Mold를 만들어야 하는데 PR을 어느 것이 적당할 지 몰라서 추천 부탁드립니다. > >PR은 일단 무조건적으로 Su-8을 사용해야합니다. > >제가 하려는 PR Mold는 지름 80 ~ 100㎛, 두께 100㎛의 원형 홀 부분이 현상이 되게끔 > >해야 합니다. > >Su-8을 반드시 사용하라고 해서요. Su-8도 여러가지 종류가 있는지라 어느것을 선택해야 할지 잘 모르겠습니다. > >고수님들께서 알려주시기 바랍니다. -
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이정환님의 답변
2011-06-02- 2
Su-8 패터닝을 하신다니, 의견을 조금 남겨 드립니다. 아마 Su-8 몰드를 이용하셔서, PDMS 칩을 만드시려는게 아닐까 하는 추측을 하는데요. Su-8 PR이 일반적인 Positive PR 보다 두꺼워서, 조건이 까다로운 단점이 조금 있습니다. (노하우가 많이 필요한 공정입니다.) 먼저 100um 두께를 하신다면, Su-8 100 모델을 사용하세요. 50um 두께를 하신다면, Su-8 50모델을 쓰시고요. 물론 Runsheet를 보시면 코팅후의 두께는 PR의 Viscosity, RPM, Time에 의하여 결정되는 것을 확인하실 수 있을것입니다. 물론 장비의 특성에 따라 틀리므로 두께 확인은 꼭 해보셔야 합니다. Su-8 50 모델도 PR dispense를 충분히 하고, 저속 RPM으로 스핀코팅하면 100um 두께를 얻을 수 있겠지만, PR을 새로 사셔야 한다면, Su-8 100 모델을 사시길 추천합니다. 인터넷에서 Runsheet를 쉽게 다운받으실수 있을텐데, 코팅 부분만 먼저 읽으시고 두께 확인해서 적합한 모델을 선정하시길 바랍니다. >고수님들께 여쭙니다. > >제가 PR Mold를 만들어야 하는데 PR을 어느 것이 적당할 지 몰라서 추천 부탁드립니다. > >PR은 일단 무조건적으로 Su-8을 사용해야합니다. > >제가 하려는 PR Mold는 지름 80 ~ 100㎛, 두께 100㎛의 원형 홀 부분이 현상이 되게끔 > >해야 합니다. > >Su-8을 반드시 사용하라고 해서요. Su-8도 여러가지 종류가 있는지라 어느것을 선택해야 할지 잘 모르겠습니다. > >고수님들께서 알려주시기 바랍니다. -
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이정환님의 답변
2011-06-02- 0
추가로 기타 고려할 점에 대해 몇가지 말씀드리면, Su-8 PR의 특성상 점도가 매우 높습니다. 이때문에 PR 코팅후에 기포가 쉽게 존재할 수 있다는 문제점이 있습니다. (코팅후의 기포가 패터닝 후에도 계속 존재함) 따라서 PR을 Dispense 할때 매우 주의를 요합니다. 비커에 따라서 사용하실 경우에는 비커에 따를때부터 기포를 주의하시고, 때에 따라서는 울트라 소닉등을 이용하여 기포를 제거하는 방법도 있습니다. 노광량에 따라서 크랙이 발생할 수 있습니다. 노광 시간을 조절하거나, 현상 후에 Hard bake를 통하여 감소시킬 수 있습니다. Aspect ratio 가 너무 높을경우에는 패턴이 무너지는 문제점이 있을 수도있으니, 고려하시길 바랍니다. >고수님들께 여쭙니다. > >제가 PR Mold를 만들어야 하는데 PR을 어느 것이 적당할 지 몰라서 추천 부탁드립니다. > >PR은 일단 무조건적으로 Su-8을 사용해야합니다. > >제가 하려는 PR Mold는 지름 80 ~ 100㎛, 두께 100㎛의 원형 홀 부분이 현상이 되게끔 > >해야 합니다. > >Su-8을 반드시 사용하라고 해서요. Su-8도 여러가지 종류가 있는지라 어느것을 선택해야 할지 잘 모르겠습니다. > >고수님들께서 알려주시기 바랍니다.