2011-07-19
org.kosen.entty.User@53ff0f5f
임영진(khai0922)
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저희가 증착하는 방식은 E-beam을 이용하여 Carbon pattern 위에 Pd를 올리는데.. 패턴위에 Sphere 형태로 증착에 되네요. layer형태가 아닌.. . 암튼 증착이 잘 되지 않습니다.
그래서 lattice mismatch를 보니 60%가 넘더라고요..
그래서 중간 Layer, 즉 buffer layer를 올릴려고 하는데..
어떤게 가장 좋을지 Tip 좀 부탁드릴께요
- Carbon
- 탄소
- Pd
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