지식나눔

Scanner, Stepper 노광량 질문

 

안녕하세요

 

노광기 에너지 산출에 대해서 질문 드립니다.

 

일정 조도에서 Scan speed를 조절하여 노광량을 제어하는 Scanner type과

 

shot 별로 time 을 조절하여 노광량을 제어하는 stepper type 노광기의

 

정확한 노광에너지 산출법을 알고싶습니다.

 

이 둘 노광 에너지의 상관관계가 있나요?

  • 노광기
  • 노광량
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