2011-08-30
org.kosen.entty.User@4adae203
이성현(hlksu)
- 1
AAO Template 제작 실험을 하고 있습니다.
1차 Anodizing 후 식각을 할 때 문헌에 따라 현재 크롬산을 사용하고 있습니다.
그런데 크롬산이 많이 위험하더군요.
인산을 가열(70℃)하는 방법도 써 봤는데 그렇게 좋지 않더군요.
크롬산 외에 알루미나 만을 선택적으로 식각할 수 있는 식각액은 없을까요?
- 알루미나
- alumina
- etchant
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
김영곤님의 답변
2011-09-02- 3
크롬산은 6가 크롬이므로 환경 문제 때문에 규제가 됩니다. 알루미나 습식 식각은 님이 사용하시는 인산의 경우 AlPO4로 반응이 일어나므로 반응된 부분은 분말로 침전되어 떨어지므로 가장 많이 사용하는 것으로 봅니다. 그외에도 황산, NaOH, 암모니아, 초산 등을 사용하기도 하는 것으로 보입니다. 포항공대 이건홍 교수님 연구실에 문의하시면 좋은 답변을 얻을 수 있을 듯 합니다. 아울러, AAO Template제작과 관련된 중국의 논문을 첨부합니다.
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AAO Template 제작 실험을 하고 있습니다.
1차 Anodizing 후 식각을 할 때 문헌에 따라 현재 크롬산을 사용하고 있습니다.
그런데 크롬산이 많이 위험하더군요.
인산을 가열(70℃)하는 방법도 써 봤는데 그렇게 좋지 않더군요.
크롬산 외에 알루미나 만을 선택적으로 식각할 수 있는 식각액은 없을까요?