2011-09-30
org.kosen.entty.User@539fd100
장석원(jjangga76)
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안녕하십니까. LTPS를 처음 시작하는 사람입니다.
하려고하는 것은 PECVD를 이용하여 SiNx,SiO2,a-si을 증착하려고 합니다.
궁극적인 목표는 Poly-Si을 만들기전 질 좋은 a-Si을 만드는 것입니다.
궁금한것
1. ELA전 a-Si의 수소함량이 중요하다고 들었습니다. ELA할때 수소끼가 나오면서 defect으로
작용한다고 들었습니다. PECVD증착시 수소함량을 관리할 수있는 방법에 대해 고수님의
조언 및 관련논문이나 자료있으시면 더욱 감사하겠습니다.
2. a-si의 증착 상태에 따라서 ELA 결정화시 Grain size에 미치는 영향성.
3. a-si증착 후 수소 함유량을 낮추기 위해서 annaling을 한다고 들었습니다. 그때 주의할 점과
process법.
고수님 아니드라도 LTPS관련하시분이시라면 정중하게 부탁드리겠습니다.
P.S :제가 LTPS에 관련해서 세미나를 해야하는데 자료 있으시면 부탁드리겠습니다.
그럼 환절기 감기 조심하고 연락 기다리겠습니다.
- LTPS
- poly-Si
- PECVD
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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