2011-12-01
org.kosen.entty.User@58ac60be
한다솔(windkhan)
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안녕하십니까.
한국산업기술대학교의 한다솔 입니다.
한가지 문의 드릴것이 있습니다.
현재 제가 쓰는 Negative PR은 Ma-N 1440 (독일, Micro Resist Technology 제품)을 쓰고 있습니다.
가격이 비싸고 제품을 받는 시간이 오래 걸려서 다른 제품을 찾고 있습니다.
두께는 현재 4um로 쓰고 있습니다.
찾던것중 AZ 계열에서 5214가 있었으나 두께가 2um 정도이고 1갤런 단위로 밖에 판매하지 않으며, AZ의 ANR series를 찾고 있으나 판매처를 찾지 못한 상황입니다.
또한 필요한 사항이 PR 현상시 단면 형태가 under-cut 형태가 필요합니다.
실제로 사용하시거나 negative PR중 추천해주실만한 제품이 있다면 도움 부탁드립니다.
아울러 판매처도 같이 알려주실수 있으시다면 부탁드리겠습니다.
종합적으로 정리하면 제가 필요한 negative PR의 성향은
1. 스핀코팅후 4um정도 구현이 가능하며 약 두배 정도(8~10um) 까지 조절할수 있는 제품
2. 현상시 under-cut 형태가 가능한 제품
3. Negative type
입니다.
많은 분들의 도움을 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
- PR
- Negative
- Photo Resist
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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