- 2
보통 박막관련해서 논문을 보게 되면 Post annealing이라고 해서 열처리를 통해서 박막의 구조적 광학적 외 여러가지 특징들을 보는 논문들이 있는데요.
보통 논문을 보게 되면 열처리후 변화가 생기는데 보통 변화가 생겼다라고만 되어 있지, 열처리에 의해서 어떻게 되서 이렇게 되어서 변화가 되었다 라는 그런 이유가 없어서 열처리 효과가 박막에 어떠한 영향을 미치는 많이 궁금합니다.
즉, 열처리의해 박막에 어떻게 영향을 미치는 궁금합니다.
- 박막
- 열처리
- RTA
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
-
답변
송준희님의 답변
2012-01-04- 0
-------------------------------------질문-------------------------------------
보통 박막관련해서 논문을 보게 되면 Post annealing이라고 해서 열처리를 통해서 박막의 구조적 광학적 외 여러가지 특징들을 보는 논문들이 있는데요.
보통 논문을 보게 되면 열처리후 변화가 생기는데 보통 변화가 생겼다라고만 되어 있지, 열처리에 의해서 어떻게 되서 이렇게 되어서 변화가 되었다 라는 그런 이유가 없어서 열처리 효과가 박막에 어떠한 영향을 미치는 많이 궁금합니다.
즉, 열처리의해 박막에 어떻게 영향을 미치는 궁금합니다.
열처리의 방법에 따라 주로 기계적 물리적 특성이 향상됩니다.
어닐링의 경우 ？칭 후 실시하는데 경화성을 완화시켜 연성을 부여하고, 결정을 미세화시키는 특징이 있습니다. 내부 균열을 제거하는데도 사용합니다. 박막에서는 주로 결정성, 결정크기, 표면형상, 결합에너지 등의 관련성을 위해 열처리를 적용합니다.
-
답변
김형근님의 답변
2012-01-05- 0
반갑습니다. 코팅 관련연구를 하시나 봅니다.
일단 코팅을 하면, 그 코팅의 방법에 따라 열처리가 달라집니다.
예를 들면, 졸겔법같은 경우는 재료에 따라 다르지만, 보통 대기중에 건조시킨후 약 300-500 도 정도에서 가열하여 1차 코팅을 완성합니다. 사용 분야에 따라 이게 마지막일 수도 있고 아니면, 2차 가열이 필요하기도 하지요. 이때 주로 post annealing이라 일컫습니다. 그럼 왜 이 post annealing이 필요하냐하며, 주로 1차 코팅에서는 요구되는 코팅재료의 결정상(phase) 이 안나올수 있습니다. (온도가 낮기 때문이지요) 또한 필요없는 residual phase가 있기도 합니다. 이렇게 요구되지 않는 상들을 제거하기 위해 또는 필요한 결정상을 얻기위해 다시 열처리를 하게 됩니다. 이때는 시간이 보통 짧게는 1시간에서 몇시간까지도 하지요. 논문을 보면 주로 XRD에서 처음 코팅한 결정상과 post annealing을 한 결정상을 비교한것을 많이 볼것입니다. 도움이 되셨는지요.
또한 플라즈마나 열용사 코팅의 경우(요즈음은 박막코팅도 가능합니다.) 그 용사 자체의 고온으로 재료가 녹아 기판에 들러 붙기때문에 특별한 경우가 아니면, 그대로 코팅제품으로 씁니다. 하지만, 재료에 따라서 다시 post annealing 을 하기도 합니다. 이때는 주로 원하는 상변화를 유도하기 위한것인데, 코팅은 금속의 annlealing과 달리, 이러한 post annealing의 경우 원하는 상변화를 얻을 수는 있지만, 때론 코팅 자체에 스트레스를 주기도 합니다. 즉, 기판과 코팅의 열팽창 계수의 차이에 의해 본딩이 약해져서 기판에서 떨어지기도 하지요.
혹, 좀더 자세한 설명을 원하시면, 어떤 코팅을 어떻게 하시는지 알려주시면 최대한 아는데로 도와 드리겠습니다.
감사합니다.
-------------------------------------질문-------------------------------------
보통 박막관련해서 논문을 보게 되면 Post annealing이라고 해서 열처리를 통해서 박막의 구조적 광학적 외 여러가지 특징들을 보는 논문들이 있는데요.
보통 논문을 보게 되면 열처리후 변화가 생기는데 보통 변화가 생겼다라고만 되어 있지, 열처리에 의해서 어떻게 되서 이렇게 되어서 변화가 되었다 라는 그런 이유가 없어서 열처리 효과가 박막에 어떠한 영향을 미치는 많이 궁금합니다.
즉, 열처리의해 박막에 어떻게 영향을 미치는 궁금합니다.
좋은답변 감사드립니다^^