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안녕하십니까!
주사전자현미경을 이용하여 샘플표면에 기공이 있는지 여부를 확인할 수 있는 방법을 알고싶습니다. 고배율에서 이미지를 보면 검정 홀이 보입니다. 그런데, 이것이 기공인지는 불확실하더군요.
BSE 검출기를 이용하여 TOPO 혹은 COMPO 이미지를 확인해보았도 특별한 양상을 볼 수가 없습니다.
- 주사전자현미경
- 기공
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변
강광철님의 답변
2012-01-24- 0
첨부파일
edx에서 pore를 확인할 수있나요? sem에서도 홀이 있다면 그부분이 기공이라고 생각하고, 정확히 알고 싶다면 이샘플을 BET로 찍어서 메조포어가 있는지 아니면 마이크로포어가 발달되었는지 확인 하시면 될것같아요. 고배율이 몇배인지는 알 수 없으나 메조 포어는 보통 2~50nm인고 마이크로는 이것보다 적은 부분인데 확인이 쉽지 않을것 같은데요..BET를 찍으시면 아실수 있을듯..
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안녕하십니까!
주사전자현미경을 이용하여 샘플표면에 기공이 있는지 여부를 확인할 수 있는 방법을 알고싶습니다. 고배율에서 이미지를 보면 검정 홀이 보입니다. 그런데, 이것이 기공인지는 불확실하더군요.
BSE 검출기를 이용하여 TOPO 혹은 COMPO 이미지를 확인해보았도 특별한 양상을 볼 수가 없습니다.
답변
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답변
김형근님의 답변
2012-01-25- 0
반갑습니다.
첫째 제가 드릴 질문은 샘플이 polished 된 단면인지 아니면, 분말이나 고체덩어리 그 자체인지 궁금합니다.
먼저, 쉬운 쪽으로 답을 한다면, 샘플이 분말이나 고체덩어리 자체일경우, 보통 5000x전후로 하여 확대한후(샘플의 크기에 따라 배율을 사용사가 적당히 조정하시면 됩니다.) Tilt(기울기)레버를 이용하여 샘플을 다른 각도에서 한번 보세요. 만약 그것이 기공이라면, 화성의 운석처럼 볼록 들어간것이 보일 것입니다. 제일 확실한 방법입니다.
다음. 만약, 샘플이 에폭시로 폴리쉬된 단면이라면, 위 방법은 소용이 없을 것입니다. 이미 BSE도 확인을 하셨다 하셨는데, BSE는 기공이나 혹, 샘플 표면에 묻은 다른 이물질도 대부분 같은 어두운 색을 띠게 됩니다. 그러니 좀 힘들지요. 이땐 두가지 방법으로 확인 할 수 있는데, 첫째는 대부분 SEM 장비에는 Mapping기능이 있을 것입니다. EDS로 화면에 나와 있는 전체 화면을 찍은후 다시 MAP기능 버튼을 이용하여 해 보세요. 분명 주변 다른것들은 element에 따라 색깔이 표시 되지만, 기공은 계속 검은 색으로 남아 있을 것입니다.
또한가지 방법은 그 샘플을 SEM이 아닌 optical microscopy를 이용해서 보세요. 즉, 기공이 의심스러운 부분을 최대한 focus를 맞춘후 촛점 맞후는 레버를 살짝 위로 아래도 돌려 보세요. 무슨말인가 하면, 촛점이 맞았을때는 그저 까맣게 보이겠지만, 그 레버를 조금씩 돌리면 상이 흐려질것입니다. 그때 기공이라면, 주변의 material과는 달리 뭔가 그 까만상 안쪽으로 퍼지면서 눈에 착시현상이 오는것 같은 상이 보인다면 기공이고, 다른것과 같이 주변 테두리의 상이 촛점이 맞지 않는다면, 그것은 기공이 아니고 또다른 상입니다. 거의 확실 합니다.
제가 이것에 대한 분석 자격증이 있기에 자신있게 말씀 드리니 한번 해보세요.
혹, 그래도 확신이 안서시면, 다시 연락 주세요. 사진과 함께 주신다면 더욱더 자세히 말씀 드리겠습니다.
감사합니다.
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안녕하십니까!
주사전자현미경을 이용하여 샘플표면에 기공이 있는지 여부를 확인할 수 있는 방법을 알고싶습니다. 고배율에서 이미지를 보면 검정 홀이 보입니다. 그런데, 이것이 기공인지는 불확실하더군요.
BSE 검출기를 이용하여 TOPO 혹은 COMPO 이미지를 확인해보았도 특별한 양상을 볼 수가 없습니다.